Opis opreme:
Poravnalnik mask MA BA6 Gen4 je sistem namenjen raziskovalnim ustanovam, univerzam in vzorčni proizvodnji. Poglavitni poudarek je na fleksibilnosti tako glede postopkov z valovnimi dolžinami 365 nm in 405 nm v 4 različnih načinih preslikave, od bližinske do vakuumske. Omogoča poravnavo na čelni ter tudi na hrbtni strani in uporabo UV NIL tehnike tiskanja in kot dodatno možnost, trenutno neizbrano poravnavo in spajanje rezin.
Tehnični podatki :
Poravnalnik omogoča delo v 4 standardnih načinih delovanja na 100 mm rezini z naslednjimi ločljivostmi:
- vakuumski kontakt – 0.7 um
- trdni kontakt – 1.0 um
- mehki kontakt – 2,0 um
- bližinska preslikava – 3 um pri 20 um oddaljenosti
Na čelni strani doseže natančnost poravnave 0,25 um na hrbtni 1 um.
Velikost okroglih substratov – rezin od premera 2″ do 150 mm, velikost kosov od 2″x 2″ do 6″ x 6″, velikost foto-litografskih mask 5″ x 5″ ali 6″ x 6″ debeline do 3.05 mm
Split field mikroskop z objektivoma 5 x 0,15 in digitalno povečavo na CCD kameri
Izvor LED LH UV400 omogoča osvetljevanje z visoko intenziteto 60 mW/cm2 in 2,5% uniformnostjo.