PODATKI O RAZISKOVALNI OPREMI
| Šifra opreme : P17-060 |
Poravnalnik mask (Mask aligner) – Opis opreme
- Nakup raziskovalne opreme je sofinancirala Javna agencija za raziskovalno dejavnost republike Slovenije
- Po pogodbi : 1000-18-0510
- Številka prijave : ARRS-RI-ROPR-JR-Prijava/2018/60
- Klasifikacija meril : 47 – Mikro in nanotehnološki sistemi
- Procesna oprema – Fizikalna / Litografija / Optična
| Datum prevzema opreme | 8.10.2018 |
| Datum montaže | 14.10.2018 |
| Datum pričetka delovanja opreme | 16.10.2018 |
| Inventarna številka opreme | 35344 |
Oprema je nameščena v čistih prostorih Laboratorija za mikroelektroniko. Dostop do opreme po dogovoru in predhodni najavi.
Cena operaterja je 72€/h + stroški obratovanja (plin, elektrika, ipd) po dejanski porabi.